据工业和信息化部官网消息，为促进首台（套）重大技术装备创新发展和推广应用，加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同，工业和信息化部近日印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》（以下简称《指导目录》），其中在电子专用装备目录下，“集成电路生产装备”包括氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
按照市场监管总局等5部门于今年4月联合印发的《中国首台（套）重大技术装备检测评定管理办法（试行）》，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台（套）重大技术装备，是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。
《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》截图。